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基于NX-2000的四英寸光固化納米壓印光刻技術研究

Nanonex 公司的光固化納米壓印光刻技術（P-NIL）基于NX-2000 納米壓印機，采用專利的氣墊壓制（ACP）技術，實現了低壓室溫下 60 秒內的大面積均勻壓印；該工藝為雙層光刻膠體系，通過紫外光固化完成圖案轉移，配合兩步反應離子刻蝕（RIE）實現圖案層間轉移，已成功在4 英寸晶圓上制備出 200 納米間距光柵、20 納米孔徑結構及 MESFET 電路柵極層級等從納米到數十微米的特征尺寸結構，展現了低成本、高通量及高分辨率的優(yōu)勢。

?思維導圖

一、納米壓印光刻技術（NIL）概述

• 定義：一種低成本、高通量的圖案化技術，分辨率可達10nm，是未來納米制造的潛在解決方案。
• Nanonex 的兩種實現方式（對比見表 1）：

• 熱壓印光刻（T-NIL）：單層光刻膠，需加熱至玻璃化轉變溫度（Tg）以上，施壓使光刻膠形變，冷卻后脫模，需單步氧 RIE 去除殘留膠。

光固化納米壓印光刻（P-NIL）：室溫低壓工藝，雙層光刻膠，紫外光固化使頂層液態(tài)光刻膠交聯(lián)，脫模后通過兩步 RIE 轉移圖案。

二、P-NIL 工藝細節(jié)

• 玻璃模具：4 英寸 Pyrex 7740 基底（0.5mm 厚），含 100nm 氧化物層（PECVD 沉積），表面圖案通過電子束光刻等定義，經氟基 RIE 轉移，表面用全氟烷基氯硅烷鈍化（脫模劑），凸起高度約60nm。
• 壓印基底：4 英寸硅晶圓（500μm 厚），經 NH?OH:H?O?:H?O（1:1:5）溶液 75℃處理 15 分鐘，去離子水沖洗 5 分鐘，氮氣吹干后 200℃加熱，再經高壓 CO?雪槍清潔。
• 光刻膠涂層：

• 底層：Nanonex NXR-3010，旋涂后 90℃烘烤 25 分鐘，厚度約200nm。
• 頂層：Nanonex NXR-2010（液態(tài)），旋涂厚度約70nm。
• 優(yōu)勢：旋涂法均勻性優(yōu)于 5%（4 英寸晶圓），工藝周期短（高通量）。
  • 壓印過程：玻璃模具壓在雙層光刻膠上，4 英寸基底施壓 15-50psi，紫外光透過模具照射使 NXR-3010 交聯(lián)，固化時間約 5 秒，脫模后圖案復制到頂層光刻膠。
  • 反應離子刻蝕（RIE）：
• 第一步：氟基 RIE 去除溝槽底部殘留的 NXR-3010。
• 第二步：以 NXR-3010 為掩膜，氧 RIE 將圖案轉移至 NXR-2010（選擇比 11:1，因 NXR-2010 含硅）。

三、氣墊壓制（ACP）技術與 NX-2000 設備

• ACP 技術：Nanonex 專利技術，通過各向同性壓力實現壓印，解決傳統(tǒng)平行板壓印的壓力不均、模具 / 基底相對位移等問題，支持曲面、易碎基底壓印，延長模具壽命，無需基底超高平整度（可共形接觸）。
• NX-2000 設備：

• 功能：支持 T-NIL、P-NIL 及熱壓 embossing。
• 性能：亞 10nm 圖案化能力，最大處理8 英寸晶圓（標準配置 4 英寸），單次壓印周期 <60 秒。

四、P-NIL 技術演示結果

• 在 4 英寸晶圓上成功制備多種結構：

• 周期 100nm、孔徑20nm的結構（NXR-3010 光刻膠）。
• 周期 200nm、直徑65nm的柱陣列（雙層光刻膠，高寬比 6，側壁筆直光滑）。
• 周期200nm的光柵（轉移至底層光刻膠，側壁光滑）。
• MESFET 電路柵極層級（關鍵尺寸 1.5μm，4 英寸晶圓壓印均勻）。

五、結論

NX-2000 設備的 P-NIL 工藝結合 ACP 技術，實現了 4 英寸晶圓上從納米到數十微米特征尺寸的大面積均勻復制，在數據存儲、光電子學、生物技術等領域應用潛力廣闊。

關鍵問題

光固化納米壓印光刻技術（P-NIL）與熱壓印光刻技術（T-NIL）的核心區(qū)別是什么？
答案：兩者核心區(qū)別體現在工藝條件和步驟上。T-NIL 為單層光刻膠工藝，需加熱至光刻膠玻璃化轉變溫度（Tg）以上、施加高壓使光刻膠形變，冷卻定型后通過單步氧 RIE 去除殘留膠；而 P-NIL 為室溫低壓工藝，采用雙層光刻膠，通過紫外光固化使頂層液態(tài)光刻膠交聯(lián)，脫模后需兩步 RIE（氟基→氧基）完成圖案轉移，無需高溫，壓印效率更高（周期 < 60 秒）。

Nanonex 專利的氣墊壓制（ACP）技術在 P-NIL 工藝中起到了哪些關鍵作用？
答案：ACP 技術通過提供各向同性壓力，解決了傳統(tǒng)平行板壓印的壓力分布不均、模具與基底相對位移等問題；拓展了壓印能力，可用于曲面和易碎化合物半導體基底；延長了模具使用壽命；且無需基底具備超高平整度，能實現模具與基底的共形接觸，是 P-NIL 實現大面積均勻壓印的關鍵。

NX-2000 納米壓印機在 P-NIL 技術應用中展現了哪些性能優(yōu)勢？已取得哪些具體成果？
答案：NX-2000 的性能優(yōu)勢包括：亞 10nm 圖案化能力，支持 4 英寸標準晶圓（最大 8 英寸），單次壓印周期 < 60 秒，兼容多種壓印工藝。具體成果為：在 4 英寸晶圓上成功制備出 20nm 孔徑結構、200nm 間距光柵、65nm 直徑柱陣列（高寬比 6）及 1.5μm 關鍵尺寸的 MESFET 柵極層級，實現了從納米到微米級的大面積均勻復制。

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